Глушкова, Діана БорисівнаБагров, Валерій Анатолійович2024-02-152024-02-152023Пат. 154350 Україна, МПК C23C 14/24 (2006.01). Пристрій для осадження багатокомпонентних покриттів / Глушкова Діана Борисівна, Багров Валерій Анатолійович ; власники : Харкiв. нац. автомоб.-дор. ун-т. – № u 2023 00899 ; заявл. 07.03.2023 ; опубл. 08.11.2023, Бюл. № 45. – 7 с.https://dspace.khadi.kharkov.ua/handle/123456789/19921Пристрій для осадження багатокомпонентних покриттів містить вакуумну камеру, усередині якої розташовані катод, анод і тримач виробу. Катод виконаний складеним з декількох частин - катодів з різних матеріалів, кожний з яких виконаний з матеріалу розпорошуваного компонента; які рівномірно розташовані усередині вакуумної камери на її бічних фланцях та повернені поверхнею випарування до тримачів з виробами. На краю катода є виступ 1,5÷2 мм, який додатково стабілізує катодні плями на робочій поверхні. Пристрій містить чотири катоди для отримання багатокомпонентних покриттів, два з яких містять молібден (Мо), а два інших – хром (Cr).ukвакуумна камеракатоданодOther