Фізико-механічні властивості багатошарових CrN/NbN-покриттів

Abstract

Підвищення стійкості матеріалів до руйнівного впливу зовнішніх факторів залишається актуальним. Одним із методів розв’язання цього завдання є застосування захисних вакуумно-дугових покриттів із поліпшеною зносостійкістю. Створення багатошарових покриттів СrN/NbN виконували за умови таких технологічних параметрів нанесення покриттів: тиск реакційного газу у вакуумній камері (РN = 0,08–0,27 Па), постійна негативна напруга на підкладці (Uп = 70–200 В). Покриття мали різну кількість шарів (N = 68, 270, 1080) і товщина ша-рів становила від 17 до 150 нм. Дослідження впливу технологічних параметрів нанесення на фізико-механічні властивості багатошарових покриттів СrN/NbN є важливим для прогнозованого отримання необхідних властивостей багатошарових систем.