Пристрій для осадження багатокомпонентних покриттів
dc.contributor.author | Глушкова, Діана Борисівна | |
dc.contributor.author | Багров, Валерій Анатолійович | |
dc.date.accessioned | 2024-02-15T16:54:54Z | |
dc.date.available | 2024-02-15T16:54:54Z | |
dc.date.issued | 2023 | |
dc.description.abstract | Пристрій для осадження багатокомпонентних покриттів містить вакуумну камеру, усередині якої розташовані катод, анод і тримач виробу. Катод виконаний складеним з декількох частин - катодів з різних матеріалів, кожний з яких виконаний з матеріалу розпорошуваного компонента; які рівномірно розташовані усередині вакуумної камери на її бічних фланцях та повернені поверхнею випарування до тримачів з виробами. На краю катода є виступ 1,5÷2 мм, який додатково стабілізує катодні плями на робочій поверхні. Пристрій містить чотири катоди для отримання багатокомпонентних покриттів, два з яких містять молібден (Мо), а два інших – хром (Cr). | |
dc.identifier.citation | Пат. 154350 Україна, МПК C23C 14/24 (2006.01). Пристрій для осадження багатокомпонентних покриттів / Глушкова Діана Борисівна, Багров Валерій Анатолійович ; власники : Харкiв. нац. автомоб.-дор. ун-т. – № u 2023 00899 ; заявл. 07.03.2023 ; опубл. 08.11.2023, Бюл. № 45. – 7 с. | |
dc.identifier.uri | https://dspace.khadi.kharkov.ua/handle/123456789/19921 | |
dc.language.iso | uk | |
dc.publisher | Харківський національний автомобільно-дорожній університет | |
dc.subject | вакуумна камера | |
dc.subject | катод | |
dc.subject | анод | |
dc.title | Пристрій для осадження багатокомпонентних покриттів | |
dc.type | Other |
Файли
Контейнер файлів
1 - 1 з 1
Ліцензійна угода
1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
- Назва:
- license.txt
- Розмір:
- 2.87 KB
- Формат:
- Item-specific license agreed upon to submission
- Опис: