Дослідження вакуумно-дугових Ti-Al-N покриттів

Abstract

В кваліфікаційній роботі виконується дослідження вакуумно-дугових Ti-Al-N покриттів за будовою, фазовим і елементним складом з градієнтом фізико-механічних властивостей. Вивченням проблем осадження покриттів Ti-Al-N плазмовими методами займаються провідні вітчизняні та зарубіжні вчені. Найбільш широко вивчено вплив технологічних параметрів процесу вакуумно-дугового випаровування на структурні та фазові зміни у покриттях Ti-AlN, їх властивості, дефекти будови. Даним дослідженням присвячені праці вітчизняних та зарубіжних учених А.Д. Погребняка, В.А. Білоуса, В.В. Васильєва, В.Є. Стрельницького, І.І. Аксьонова, А.А. Андрєєва, J.M. Castanho, A.E. Santana, A. Karimi, C. Chokwatvikul, A.R. Shetty, N. Norrby, G.P. Zhang, X.Q. Wang, F. Aliaj та інш. В роботі встановлено залежності морфології та топографії поверхні, фазового складу, будови, структурного та напруженого стану вакуумнодугових покриттів Ti-Al-N від технологічних параметрів процесу осадження покриттів. Встановлені закономірності впливу морфології та топографії поверхні, фазового та елементного складу, будови, структурного та напруженого стану покриттів Ti-Al-N на їх фізико-механічні властивості.