Спосіб нанесення зносостійкого багатошарового покриття

Abstract

Спосіб нанесення зносостійкого багатошаирового покриття включає попередню обробку поверхонь деталей протягом певного часу у відповідних режимах, з подальшим нанесенням покриття нітридами хрому. Додатково проводять нанесення покриття нітридами титану, для чого попередню обробку поверхні деталей проводять шляхом іонного бомбардування поверхні іонами титану при тиску азоту 1×10-4 торр, струмі дуги 80 А і негативній напрузі 90 В на оброблюваній деталі протягом 8 хвилин. Потім у процесі іонного очищення здійснюють термомеханічну активацію і нагрівання поверхні підкладки іонами титану до 500-550 °С. Проводять вакуумно-плазмове нанесення багатошарового покриття у середовищі азоту: наносять нижній шар нітриду титану TiN протягом 3 хв з остаточною температурою покриття після осадження 500 °С. Наносять шари, що чергуються, двокомпонентним покриттям нітриду хрому CrN і нітриду титану TiN. Шар TiN наносять випаровуванням двох титанових катодів при нагріванні покриття до температури 450-510 °С. Осадження шарів, що чергуються, проводять до досягнення температури верхнього шару 450-510 °С. Останнім наносять шар Ti-N, таким чином термічно активуючи поверхню підкладки і збільшуючи адгезійну міцність покриття, товщина якого становить від 20 до 150 мкм залежно від розміру деталі та умов її експлуатації.