2023
Постійне посилання зібранняhttps://dspace.khadi.kharkov.ua/handle/123456789/19722
Переглянути
Перегляд 2023 за Ключові слова "вакуумна камера"
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
- Результатів на сторінці
- Налаштування сортування
Документ Пристрій для осадження багатокомпонентних покриттів(Харківський національний автомобільно-дорожній університет, 2023) Глушкова, Діана Борисівна; Багров, Валерій АнатолійовичПристрій для осадження багатокомпонентних покриттів містить вакуумну камеру, усередині якої розташовані катод, анод і тримач виробу. Катод виконаний складеним з декількох частин - катодів з різних матеріалів, кожний з яких виконаний з матеріалу розпорошуваного компонента; які рівномірно розташовані усередині вакуумної камери на її бічних фланцях та повернені поверхнею випарування до тримачів з виробами. На краю катода є виступ 1,5÷2 мм, який додатково стабілізує катодні плями на робочій поверхні. Пристрій містить чотири катоди для отримання багатокомпонентних покриттів, два з яких містять молібден (Мо), а два інших – хром (Cr).