Пристрій для осадження багатокомпонентних покриттів

Abstract

Пристрій для осадження багатокомпонентних покриттів містить вакуумну камеру, усередині якої розташовані катод, анод і тримач виробу. Катод виконаний складеним з декількох частин - катодів з різних матеріалів, кожний з яких виконаний з матеріалу розпорошуваного компонента; які рівномірно розташовані усередині вакуумної камери на її бічних фланцях та повернені поверхнею випарування до тримачів з виробами. На краю катода є виступ 1,5÷2 мм, який додатково стабілізує катодні плями на робочій поверхні. Пристрій містить чотири катоди для отримання багатокомпонентних покриттів, два з яких містять молібден (Мо), а два інших – хром (Cr).